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一旦水质无法达到足够的纯净度,其中微粒子、营业营业气泡(包括溶解的氧气和氮气)、营业营业总有机碳(TOC)、金属离子或硼、硅等元素的微小变化,都将对半导体生产过程产生显著影响,进而降低产品的质量和合格率。

部地部例如,当TOC(总有机碳)指标下降时,光刻精度会受到影响,从而导致芯片质量的下降;金属离子指标的差异可能会改变晶圆的原子密度,同样会导致芯片质量的降低;而硼(Boron)元素含量过高则会干扰P-N结的形成,对芯片质量产生不良影响。

理志在迈入高级制程后,一些以往没有影响良率的细微分子,也因为制程线径缩小,成为影响品质的关键因素。

昨天因此,随着芯片技术的不断进步,对所需超纯水质量的要求也日益严苛。

和今作为本土超纯水企业的代表,高频科技始终致力于超纯水工艺的提升,以满足半导体行业对超纯水质量日益提升的要求。

高频科技的超纯水系统,融合了物理、券商化学、光化学、机械、空气动力学、流体力学等多项学科的前沿技术。

(责任编辑：手工真牛皮皮料黄牛马丁靴)